KEYENCE基恩士光電傳感器芯體設計和性能測試
KEYENCE基恩士光電傳感器作為一種近些年新出現(xiàn)的一種壓力傳感器[6]，直接以機加工不銹鋼薄膜作為直接感壓單元，以硅應變計為信號轉換元件，相對陶瓷壓力傳感器有更*的精度，相對充油壓力傳感器有更低的成本，能夠覆蓋中低*全量程。本文基于不銹鋼壓力傳感器的原理，設計了一種壓力傳感器芯體，具有過載大、耐腐蝕、成本低、可靠性好的特點。
KEYENCE基恩士光電傳感器芯體以不銹鋼薄膜作為感壓結構，以應變片作為測量單元，基本結構如圖1(a)左所示，芯體為17-4PH不銹鋼一體加工結構，下部包括壓力傳感器芯體的導壓孔及過程連接接口，上部與測量介質接觸的為一體不銹鋼，感壓硅應變計粘貼于不銹鋼膜片的上表面。整個芯體內部無密封件及焊縫，從根本上杜絕了產(chǎn)品內部的測量介質泄露隱患。使用本芯體組裝后的傳感器、電路及感應元件在膜片的一側，測量介質在膜片的另一側，從而外部介質環(huán)境與傳感器芯體內部完全隔離，從而實現(xiàn)測量各類與不銹鋼材料兼容的氣體和液體等介質壓力。傳感器芯體整體*度15.75 mm，處的直徑為14 mm，頂部應變片粘貼臺面直徑6 mm，中間通氣孔直徑3.4 mm，頂部臺面下方傳感頸部有應力隔壁槽，隔離裝配應力，從而提*傳感器穩(wěn)定性。本文壓力傳感器整體芯體尺寸較目前的常規(guī)的帶螺紋接口的充油壓力芯體、陶瓷壓力芯體都小，便于后續(xù)組裝成小型或*小型壓力傳感器。如圖1(b)右所示，針對傳感器芯體頂部的感壓膜壓力形變進行了有限元仿真，得到了彈性體受到5 MPa壓強作用時的應力云圖和形變云圖，由圖中可以看到，彈性膜以中心點對稱向上凸起，變形在中心處，為1.99μm。彈性膜應力點在中心處為73.34 MPa，向外應力逐漸變小，在薄膜的邊緣處又稍微變大。
常見的應變片為鉑應變片，用于各種場合的力傳感測量，但是溫度漂移大，靈敏度小，而硅應變片采用MEMS工藝加工[7]，具有靈敏度*、體積小和精度*的特點，便于進行微區(qū)應力測量，因此本傳感器采用硅應變片做測量單元。同時，硅應變片與不銹鋼之間的粘接材料使用微熔玻璃粉，由于玻璃與硅有大概相同的熱膨脹系數(shù)，同時穩(wěn)定性好，有利于傳感器芯體的長期穩(wěn)定性。不銹鋼壓力變送器基本工作原理如圖2所示，采用厚膜工藝將無機粘接材料微熔玻璃膠體印刷在不銹鋼彈性體上，貼在不銹鋼感壓基座表面的2個硅電阻應變片感測基座不銹鋼膜片的形變。每個應變片由2個蛇形電阻構成，2個應變片，4個電阻通過引線互連，構成惠斯通電橋，從而輸出電壓信號。如圖1(b)所示。外側的兩個電阻R1和R4中心處位于彈性膜邊緣，當傳感器承受壓力時，不銹鋼感壓膜片產(chǎn)生變形，R1,R4承受壓應力，電阻變小，R2,R3承受拉應力，電阻變大，電橋不平衡，輸出與隨壓力線性變化的電信號，從而實現(xiàn)壓力測量。
KEYENCE基恩士光電傳感器體制造
基于以上的結構和工藝設計，進行了傳感器芯體的試制。芯體的主要制造流程:(a1)采用17-4PH不銹鋼坯料進行粗車加工成型，得到帶有不銹鋼薄膜的壓力芯體，然后對端面進行精銑，得到***不銹鋼薄膜結構，然后對不銹鋼芯體表面進行噴砂處理;(a2)利用絲網(wǎng)印刷工藝在不銹鋼芯體臺面上絲印微熔玻璃膠體;(a3)干燥并在帶氣氛保護的燒結爐中進行500℃快速燒結形成玻璃基體;(a4)將硅應變片放置在微熔玻璃基體相應的位置上;(a5)將放置好的應變片及不銹鋼基底在帶氣氛保護的燒結爐中進行*溫燒結。在不銹鋼壓力芯體的制作環(huán)節(jié)中，不銹鋼基體的制作極為關鍵，加工需要***、低應力，***加工才能**傳感器靈敏度的批量穩(wěn)定性，低應力銑削加工**傳感器不銹鋼壓力薄膜，沒有塑性損傷，才能夠承受工作環(huán)境中的多次壓力沖擊，**傳感器的疲勞可靠性。
硅應變片的貼片效果直接影響了傳感器芯體的性能，為了KEYENCE基恩士光電傳感器芯體的制備效果，利用光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡(SEM)對貼片后的硅應變片進行了表征。如圖4所示，為粘貼在不銹鋼感壓膜表面的硅應變片的光學及SEM圖像，圖右中應變片周圍的白域為燒結后的玻璃，可以看到，硅應變片通過玻璃完整可靠的粘接在了不銹鋼的表面。
KEYENCE基恩士光電傳感器針對加工完成的不銹鋼壓力傳感器進行相關性能測試，搭建了相關的測試系統(tǒng)，包括鋼瓶氣源、氣壓控制器、壓力加載工裝、***電壓源及***電壓表。傳感器感壓芯體需要進一步處理便于測量，首先將轉接PCB電路板固定在不銹鋼基底上，通過引線進行電路與硅應變片的互聯(lián)，并點膠保護，將傳感器信號引出。性能測試時，電源在電橋輸入端施加5V電壓，***電壓表測量輸出端Out+及Out-兩端的差分電壓。KEYENCE基恩士光電傳感器輸出到壓力芯體下端引壓孔，測試在不同氣壓條件下，壓力芯體電橋輸出端對應用的電壓輸出。
如表1所示，分別測試了3只不銹鋼壓力芯體分別在0,1,2,3,4,5 MPa的壓力輸出，KEYENCE基恩士光電傳感器性能試驗方法進一步分析了傳感器的線性度，1#、2#、3#樣品分別為0.32%,0.34%,0.49%，技術指標穩(wěn)定可靠，初步實現(xiàn)了設計目標?？梢钥闯鰝鞲衅鞯牧泓c都不在0 m V，同時滿量程輸出也均不同，這可能是因為壓力傳感器芯體上的硅應變片貼片的位置精度和不銹鋼感壓膜的厚度加工精度不夠的原因，需要在后續(xù)的研制中進一步改進。
KEYENCE基恩士光電傳感器本文研制了一種小型不銹鋼壓力傳感器芯體，這種不銹鋼壓力變送器基于硅應變片技術和玻璃微熔工藝，通過500℃以上*溫玻璃微熔，將硅應變片燒結在17-4PH彈性體上，彈性體與壓力接口采用一體化設計，無“O”型圈、無焊縫、無泄漏隱患、耐腐蝕性強，線性度達到0.32%。傳感器芯體的零點和滿量程輸出的一致性還不夠，需要在進一步的工作中進行改進。本文的研制工作，為小型不銹鋼壓力傳感器的研制奠定了基礎。